随着我国经济和科技的迅速发展,以电子产品为主的高科技产品生产得到迅速的发展,大量的集成电路制造工厂、液晶制造工厂以及各类电子产品制造工厂不断兴建。与此同时,电子产品生产的特征也对给排水及消防系统的设计提出了新的要求。本文将根据电子工业厂房的实际需要,结合设计过程中遇到的问题,从给排水和消防角度分析如何做好电子工业厂房的设计。
《今日电子》(月刊)创刊于1993年,由信息产业部下属的电子工业出版社与美国国际数据集团(IDG)主办,美国赫斯特(Hearst)出版公司协办。杂志面向电子工程师和工程经理,涵盖集成电路、元器件、电源、仪器、通信、测试、设计及软件等方面,包括最新技术发展动态,热点问题讨论、新产品、新技术及其应用等内容,侧重报道产品、技术、应用和市场趋势,积极促进电子技术的交流与发展,是业界很有影响的刊物。
随着我国经济和科技的高速发展,以电子产品为主的高科技产品生产得到了迅速的发展,大量的集成电路制造工厂、液晶制造工厂以及各类电子产品制造工厂大量兴建。电子工业厂房大多是密闭的建筑,并且通道狭窄曲折,在生产过程中存在可燃有毒的特殊气体和化学品,其生产的特殊要求对厂房给排水及消防系统的设计提出了新的要求。2008年12月15日,由国家工业和信息化部主编,国家住房和城乡建设部批准,国家住房和城乡建设部、国家质量监督检验检疫总局联合发布了《电子工业洁净厂房设计规范》,并于2009年7月1日正式实施,明确要求了电子工业洁净厂房的设计要求,以保证电子工业厂房的给排水系统的合理性及消防安全性。日前,全国各地商厦工厂不时出现消防问题,电子工业厂房也发现了不少消防漏洞,其给排水系统及消防问题不得不引起重视。本文将对电子工业厂房的给排水和消防设计谈一些粗浅的看法。
一、电子工业厂房的特点
电子工业工厂,如生产集成电路、大规模成电路和超大规模集成电路的微电子工厂;生产液晶显示器、等离子显示器、有机电致发光显示器的光电子工厂,其厂房对洁净的要求度都很高,其生产环境不仅要求有建筑围护、结构、空气、水以及气体、溶剂等原材料,还需要有声、光、电、磁、振等各种环境。对厂房的造型和层高、结构的承重能力、围护结构所使用的装修材料;空气的洁净度、温湿度、静压力;水和气体的纯度和粒子、重金属的含量以及环境的噪声、亮度、静电、电磁屏蔽、微振等,都有着特殊的要求。
随着技术的发展,电子工业厂房要求的面积越来越大,单从洁净室来说,比如5代TFT生产用洁净室的面积约2800平方米,而6代TFT则需约4000平方米,第8代则更是达到了8000平方米以上,其面积足以放下二十多架波音747客机。除了面积要求很大之外,对于环境的洁净程度要求越来越高,对环境空气温、湿度的控制精度要求越来截止精,对生产用的水、气体以及溶剂的纯度要求越来越纯,对环境的分子污染要求越来越严。比如12寸圆片超大规模集成电路前工序光刻间的洁净度要求每立方英尺空气中,0.1纳米以上的粒子数不能超过1颗,温度控制精度为±0.1℃,相对湿度控制精度为±3%。
由于电子生产工艺对厂房的特殊要求,使得其厂房大多采用钢盘混凝土结构,建筑或装修材料主要采用非难燃材料,建筑一般以多层建筑为主,墙体和顶板部分往往采用有保温作用的泡沫等高分子材料或多孔塑料的彩钢板,很少用砖砌加保温材料,墙体耐火性差,增加了厂房火灾茶载和火灾危险性。其功能性厂房多被分隔成许多小的隔间,平面布置曲折,很多厂房仅有一个通道,为给排水和消防疏散路线上增加了障碍。同时,因为生产工艺的需要,其室内装修多用一些高分子合成材料,燃烧速度快,还会散发毒气和浓烟,再加上电子工业厂房通风管基本上彼此连通,有毒气体极易扩散。此外,由于电子工业厂房设备贵重,洁净度要求高,很多区域要求无菌生产,自动灭火系统不宜在电子工业厂房使用,大空间、大体量和严格的洁净度要求也使普通感烟探测器基本无效。
二、电子工业厂的给排水系统
电子工业厂房的给排水系统设计,与一般厂房的给排水设计并不相同,有着其特殊的地方,如对水质的要求很高、生产废水必须特殊处理、消防给水系统要求严格等。
1、生活给排水系统
供水的安全性直接影响了项目运行的可靠性,对于大多数电子工厂来说,水源一般都是城市自来水,尤其对于一些外商投资的项目,往往需要设置直饮水系统,管道直饮水应符合建设部颁发的《饮用水水质标准》,其供配水管网不应产生滞水现象,管材宜优先采用薄壁不锈钢管。
2、工艺冷却水系统
工艺冷却水系统主要是为生产设备提供冷却用水,在电子工厂中,一般使用纯水作为冷却用水,纯水是进行一定深度除盐处理的水。电子工厂需要大量的纯水用于清洗半成品、成品,整个系统包括纯水制备系统和输送系统,输送系统的设计中要充分考虑可能产生的细菌、微粒、有机物污染,其管道管材和阀门的选择,以及管网设计是必须仔细考虑的。通常情况下,采用循环供水的方式来保证水质,其管回水小口径管一般采用PEX管或PPR管,大口径管采用无缝钢管。
3、消防给水系统
电子工厂一般都有保险要求,尤其是很多外资项目,其设计需要遵守PM等国外规范,这一规范的消防水量和系统设计与GB国家规范有许多地方并不相同。通常来讲,电子工厂的消防设计都需要设置单独的消防水池,其容积必须满足灭火时音内室内外消防所需要的消防水量。包括自动喷洒灭火系统、水喷雾灭火系统、泡沫—自动喷水联用灭火系统、气体灭火系统、灭火器。电子工业厂房有大量空调风管,密封性好,不易疏散,火灾危险性较大,设置自动喷洒灭火系统更好,具体应采用预作用系统还是湿式自动喷洒灭火系统,需要根据情况选择。
4、废水系统
废水系统包括两个部分,分别是废水的收集和处理。废水主要来源于生产工艺废水、纯水系统产生的废水、生活废水。主要有含氟废水处理系统、有机废水处理系统、含氨废水处理系统、研磨废水处理系统、生活污水处理系统等。废水的处理应采用物理化学法进行连续处理,包括还原、凝聚、沉淀、过滤、水质净化工艺等。
5、管材及铺设要求
电子工业厂房给排水系统的设计,应根性据生产、生活和消防等各项用水对水质、水温、水压和水量的要求,分别设置直流、循环或重复利用的给水系统,高纯水系统需要设置循环管道。
管材方面,纯水管、高纯水管应采用硬聚氯乙烯管、聚炳烯管或不锈钢管;冷却循环给水和回水管宜采用镀锌钢管;生产用水设备与管道的连接应采用优质软管;管道配件应采用相应材料。在整个给排水系统管道的铺设中,一般要求采用暗设,以减少积尘点,
三、电子工业厂房的消防系统
电子工业厂房消防系统的设计,应当根据其生产的火灾危险性、建筑物的耐火性等因素确定。室内消火栓给水系统最小消防用水量不应小于10L/s,室内消火栓的水枪充实水柱不应小于10m,消防水池内应贮存一小时的自喷用水量。室内应配置磷酸铵盐干粉手提灭火器,洁净车间应配置二氧化碳手提式灭火器,同时设置火灾自动报警器,其中以超灵敏度探测器即早期探测器最佳。所有线路均应当采用夹层铺设,传输线路、消防控制、通信、警报线路应穿入金属管分管铺设,金属管外壁应涂防火材料。
四、结束语
电子工业的飞速发展,对厂房的要求也越来越高,推动了电子厂房设计技术的发展。电子工业厂房的设计是一项综合技术,需要众多相关专业的配合才能完成,只有充分了解了电子工作厂房的设计特点,才能设计出合理的给排水系统和消防系统。
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